M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems org in July 2009

org in July 2009

シリコンテクノロジは，集積回路およびデバイス産業の基盤である。シリコンウェーハは，電子機器に使用されるほとんどの集積回路およびデバイスの基礎である。さまざまな種類のシリコンウェーハ製品の仕様書に記載しなければならないパラメータが記載されている共通の様式があれば非常に役に立つ。本ガイドは，さまざまなシリコンウェーハ製品の適切な仕様に記載するためのそのような様式の作成方法およびさまざまな様式を，発注書を作成するときに協調して機能させることができる方法について示す。

本法で定義するチューブフィッティングは，内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。

but the test method has a useful precision especially when the oxygen content is much greater (approximately 10× to 20×) than the measured oxygen background in the float zone silicon

SEMI F15-0308 (technical revision)

M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 StdTpc-High Purity Piping Systems org in July 2009global Silicon Wafer Committee201323global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org20047201110 180 nm130 nm90 nm( R1 1), 65 nm, 45 nm, 32 nm, ( R1 2), 22 nm ( R1 3) crystal originated particlesCOPdenuded zoneDZ Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M35 Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection SEMI M45